グリッド・パリテ&=
#12451;ーに向けて力を蓄=
360;る中国PV産業
国内市場と=
インフラ強化で経済=
1361;機回復の時を待つ
王 海紅＝テック= 539;アンド・ビズ上海
（本レポートを日 = 076;マイクロデバイス2009年9月号= に掲載しました。）
＜要旨＞
世界的な%= 329;融危機が発生して1年が過ぎた。๒= 4;出に依存していた中&= #22269;の太陽電池産業はA= 292;今も非常に苦しい状= ;況にある。その様な&#= 20013;でも，「2012年に１元= /kWhを実現する」とい= う「洛陽宣言」が採= 5246;され，グリッド・ӡ= 7;リティーの実現に向&= #12369;た機運も盛り上が= 387;てきた。先ずは，中= ;央政府，地方政府の&#= 25919;策支援を受けなが|= 25;国内市場の拡大を目= 指す。その一方で，= 5013;置や材料などの産ઊ= 9;インフラの整備も着&= #12293;と進んでいる。い= 378;れ世界経済が回復し= ;，中国の太陽光発電&#= 29987;業が再び大きく成ž= 63;する姿を見据えて&= #30528;実に力を蓄えてい= 427;。
20=
09年5月に上海で開ࠑ=
2;された中国最大の太&=
#38525;光発電展示会・コ=
531;ファレンスSNECの様子
経済危機の影響をࡢ= 3;けて低迷している中&= #22269;の太陽電池産業で= 399;あるが，1032社の出展があ= 2426;，昨年の568社から倍増す= 427;勢いである。新しい= ;会社も多く見られ，&#= 12467;ンファレンスの場{= 91;も，国内市場を拡大= し，経済危機を乗り= 6234;えようという議論Ӕ= 4;続出した。著者の王&= #28023;紅（Haihong Wang）が撮影。
![](3D"2010_5.files/image002.jpg")
＜本文＞
中国の=
809;伏（太陽光発電）産=
;業は，Suntech Power Holding Co.,Ltd.がアメ&=
#12522;カの株式市場に上=
580;して以来ずっと，「=
;光伏神話」と「光伏&#=
27873;沫（バブル）」のŠ=
11;方が交錯してきた。=
それでも，「中国速=
4230;」と「跌宕起伏=
0;1）」で突き$=
914;み，昨年来の金融危=
;機をも克服するため&#=
12395;，この動きがさら{=
95;加速されている。
中国の太陽光=
発電関連企業は，現=
2312;の困難な状況を脱ӕ=
7;るためには，政府の&=
#36039;金的な援助，国内=
066;場を拡大するための=
;支援および企業のコ&#=
12473;ト低減努力が必要{=
91;あると考えている。=
国の政策とし=
て，（1）2009年3月23日に&#=
30330;布された「太陽光į=
30;電建築応用財政補助=
資金管理暫行方案」=
5288;太陽光屋上計画）
これま=
391;，中国の国内市場が=
;なかなか大きくなら&#=
12394;かった主な原因はʌ=
92;太陽光発電のコスト=
高であった。しかし=
5292;金融危機の影響もӓ=
4;ってシリコン価格が&=
#22823;きく下がり，さら=
395;，国と地方政府の政=
;策援助が徐々に効果&#=
12434;出し始めており，Þ=
69;内市場拡大に期待が=
高まっている。
経済危機の影響ӗ=
5;耐える中国太陽光発&=
#38651;産業
工業と=
449;息化部電子信息司の=
;データーによると，
金融危=
231;前には，各社は事業=
;規模の拡大を競って&#=
12365;たが，金融危機発ī=
83;後の2009年は，その規=
7169;を維持することにࡄ=
2;力している。しかし&=
#65292;国際市場，特にド=
452;ツ市場の景気が2009年第3四=
半期にある程度よく=
2394;らないと，各社はә=
8;っと厳しい時を過ご&=
#12377;準備をしなければ=
356;けないと覚悟する向=
;きも多い。
しかしA=
292;このような悪いデー=
;ターに囲まれていて&#=
12418;，中国の太陽光発Ƃ=
51;の関連企業と政府は=
，この産業の将来を=
0449;じている。金融危ણ=
1;の影響もあって，シ&=
#12522;コン材料の価格が=
823;きく低下したことで=
;，発電コストの低下&#=
12364;進み始めたからで{=
54;る。この様な状況の=
中，4月には中国の࣪=
3;手太陽電池製造企業&=
#12364;集まり，「2012年に１元=
/kWhを実現する」とい=
う「洛陽宣言」を採=
5246;し，業界関係者のক=
5;気を高めた（追補-1参照）。そし{=
90;，2012年にグリッド=
2539;パリティーを実現ӕ=
7;る道筋も見え始めた&=
#65288;図2）。
政府の後押しがࡘ=
1;機を支え市場を拡大&=
#12377;る
世界各=
269;の政府は，エネルギ=
;ーや環境問題，金融&#=
21361;機へ対処するため{=
95;，再生可能なクリー=
ン・エネルギーをよ=
2426;重視し，太陽光発༙=
1;を重要な発展方向と&=
#36984;択しつつある。
中国政=
220;の態度も大いに注目=
;されている。中国可&#=
20877;生能源学会の理事ž=
63;石定寰氏は，5月に開催されӖ=
3;SNEC注5）=
の開幕式で，政府&=
#12398;取り組みを力強く =
057;介した。胡錦涛主席=
;などの中央政府リー&#=
12480;ー達が，「2009年中国国際節=
3021;減排と新能源科技ࡕ=
8;覧会」注6）に参加しA=
292;「節能減排」（省エ=
;ネと排出物削減）を&#=
20419;進し，積極的に新|=
56;ネルギーを開発する=
」と宣言した。
そしてA=
292;3月23日に&#=
20013;国国家財政部が発ð=
67;した太陽光屋上計画=
によって，世界的な=
7329;融危機の影響を受Ӕ=
9;ていた中国の太陽電&=
#27744;産業が息を吹き返=
375;注7），再び成&=
263;路線に乗ることが期=
;待される。太陽光屋&#=
19978;計画では，太陽光į=
30;電を都市および農村=
の建築物への適用を=
4195;げるために，中央ฐ=
1;政の再生可能エネル&=
#12462;ー用として確保し=
390;いる資金から助成金=
;を出す注8）注9）。
また，7月21日に発布され{=
83;金太陽工程では，500MW規模のプロジ&#=
12455;クトを支援する。{=
81;して，太陽光屋上計=
画および金太陽工程=
0197;外にも「新興能源ஶ=
7;業発展規画」も発布&=
#12373;れる予定である。=
371;の規画には，風力発=
;電の規模拡大と国内&#=
22826;陽光発電の導入加Ű=
95;が盛られている。こ=
の規画の効果で，2020年までに，新=
2456;ネルギー産業への=
7;資が3兆人民元に上Ӛ=
7;と予想する向きもあ&=
#12427;。
更に，=
300;太陽光屋上計画」の=
;実施細則として発布&#=
12373;れた「太陽光発電ó=
14;築応用を促進するこ=
との実施意見につい=
2390;」では，中央政府Ӕ=
4;国内の太陽光発電市&=
#22580;を拡大させる姿勢=
434;はっきり示すと同時=
;に，地方政府による&#=
38306;連財政援助政策もÌ=
19;している。
更に積極的な地ਬ=
1;政府
中央政府が態=
度を明確にすると，=
1508;地方政府も，すぐӗ=
5;地方の政策を発表し&=
#12383;。特に，太陽光発&=
651;関連企業が集中して=
;いる江蘇省，上海市&#=
65292;浙江省，江西省，Þ=
35;川省や太陽光資源が=
豊富な青海省では，=
7096;々な関連政策を出ӕ=
5;ている。
その中=
391;も，江蘇省と青海省=
;の政策は力強い。江&#=
34311;省はまず，産業規ď=
69;拡大計画と共に，応=
用拡大のために色々=
2394;模範プロジェクトӛ=
4;作る予定である。そ&=
#12375;て，地方として初=
417;てのフィード・イン=
;・タリフも発表した&#=
65288;図3）。
青海省は，太=
陽光資源がとても豊=
3500;なところであり，ߡ=
0;回発表した地方政府&=
#20225;画の中では，大型 =
330;電所を作る計画が最=
;も多い。企業も積極&#=
30340;であり，太陽光発Ƃ=
51;産業の有名企業だけ=
ではなく，国の電気=
0107;業に関わる企業も=
2;，太陽光発電に触手&=
#12434;伸ばしている。最$=
817;契約が成立した太陽=
;光発電所を積算する&#=
12392;8GWを超えた。実&=
555;の実行はこれからで=
;はあるが，この数値&#=
12363;らも中国の潜在市á=
80;の大きさが十分に分=
かる。
様々なプロジェク|=
88;の実行では，地方政=
府が力を発揮する。=
2371;れまでの例でも，Suntechが無錫政府の=
支援を受け，LDK Solar Co.,Ltd.は新余政ò=
20;の支援を受けて急成=
長してきた。この地=
6041;政府の支援が無けӚ=
8;ば，現在の中国の太&=
#38525;電池産業の発展ス=
500;ードは10年以上遅れて{=
56;たと言われている。=
このSuntechの成功に刺激=
され，太陽光発電業=
0028;が有名になり，他ӗ=
8;地方政府もこの業界&=
#12408;の積極的な支持を=
377;るようになってきた=
;注10）注11）<=
/sup>。
敦煌10MW太陽=
光発電プロジェクト=
2364;スタート
多くの関係者=
の注目を集めていた=
5958;煌の大規模太陽光=
0;電所事業が正式に決&=
#12414;った。6月30日に&#=
29976;肅省の発展改革委Ù=
29;会が発表した。中広=
核能源開発公司連合=
0307;が，敦煌10MW太陽光オング=
2522;ッド発電模範プロӟ=
2;ェクトの落札者であ&=
#12427;。発電所の25000時間（10MW容量の全負荷）の発=
;電電力価格が1.0928元/KWH(税&#=
36796;み)であり，太陽༙=
1;池は，江蘇省Best Solar Co.,Ltd.が製造す=
427;単結晶電池で，設備=
;の国内自給率は100％である。同=
178;に，敦煌でもう一つ=
;の10MWの発電所を，=
2269;家能源局が支援しᦁ=
2;国投華靖電力公司が&=
#24314;設する。
今後は，チベ=
ット阿里の10MWプロジェクト=
2418;焦点になり，青海௦=
5;，雲南省など沢山の&=
#12503;ロジェクトもあるA=
288;図4）。また，2～3年内には，500MW発電所を財政助&#=
25104;金の形で作る予定|=
18;ある。
着実な技術開発で=
0330;電コストを下げるࡄ=
2;力も
Suntechの副総経理張=
光春氏は，洛陽宣言=
2398;際に，技術的な進ઽ=
7;による発電コスト低&=
#28187;の重要性を訴え，=
516;社の取り組みを紹介=
;した。（1）電極のスクӤ=
2;ーン印刷の改良で，&=
#21336;結晶太陽電池の変=
563;効率を18％近くに上げ|=
27;。（2）レザーでよӚ=
6;細い配線を作るPluto技術で，単結&#=
26230;太陽電池の変換効ħ=
75;を18.8％に上げ，さ=
2425;に2年以内に20<=
/span>％に持っていく。{=
71;のPluto技術を使った&#=
35069;品を，2009年は50MWš=
36;画している。（3）太陽電池のࣧ=
3;換効率を倍にさせる&=
#28858;に，ナノテクとプ=
521;ズマ技術を使った将=
;来の超高効率電池の&#=
38283;発を開始しているz=
90;
また，=
371;れまでにも着実な技=
;術開発を進めてきた
大きく低下したӟ=
1;リコン価格も追い風&=
#12395;
2008年は，太陽電=
池産業にとって「氷=
8779;二重天注12）」であっ=
2383;。前半は，シリコӥ=
1;の調達が難しく，ど&=
#12435;なシリコンでも全%=
096;売れ，作ったモジュ=
;ールも全部売れた。&#=
12375;かし，突然の金融Õ=
61;機で状況は完全に変=
わった。
JL McGregor & Company劉文平氏=
395;よると，2008年中国多結晶=
2471;リコン企業23社の生産量はʌ=
92;5280トンであり，
価格もA=
292;2008年10月ま=
;では350米ドル/kg以上だったが，11月に一気に半Ñ=
98;になり，2009年4月に=
は80米ドル/kg=
以下になった（図5）。
2008年にシリコンの生産&=
#37327;が一番多かった中=
269;企業は，江蘇中能硅=
;業科技発展公司であ&#=
12427;。同社の生産能力{=
99;，2009年に18000=
488;ン（生産量予定は10000トン）で，2010年には21000トンになる予定であ=
;る。同社のデーター&#=
12395;よると，技術改善{=
92;生産能力を発揮させ=
れば，2009年の平均コス=
2488;は＄35/Kg，2010年=
395;は$25/Kgになり，世界&=
#30340;レベルに並ぶ。ま=
383;，LDKや四川永祥多 =
080;晶硅有限公司（追補=
;-2参照）などもʌ=
92;徐々に生産規模を拡=
大する予定ある。
シリコン価格=
の低下は，発電コス=
2488;と直結しており，ߡ=
0;後の太陽光発電には&=
#36861;い風でもある。中=
269;の多結晶シリコン産=
;業は，まだ歩き始め&#=
12383;ばかりであり，今ô=
60;の激しい市場競争に=
も揉まれながら発展=
2375;ていくことになるӍ=
0;
太陽電池企業のਞ=
3;援で国内製製造設備&=
#12418;成長
3月に上海で開=
催された展示会Asia Solarでは，ラミ|=
93;ーション装置のQinhuangdao
Orient Science & Technology Co., Ltdが，注目を浴=
びた（追補-3参照）。5<=
/span>月のSNEC展示会では，
この様=
394;設備の国産化の背景=
;には，各装置企業の&#=
32076;験の積み重ねと努Ó=
47;と共に，産業界の協=
力が重要な要素にな=
2427;。Suntechの張光春氏は=
，いくつかの事例を=
2057;介した。
Suntechは，業界で共=
に使うことができる=
7325;要な技術に着目しᦁ=
2;他の企業と共同研発&=
#12377;ることで業界の進=
497;を後押ししている。=
;例えば，良く使われ&#=
12390;いる高温拡散炉をʌ=
92;中国電子集団第四十=
八研究所と共同開発=
2375;，改善を続けてもӓ=
8;三代目になり，国内&=
#12398;主な企業もこの拡=
955;炉を使っている。そ=
;の他いくつかの工程
「産学研」「検ण=
8;研」でさらなるコス&=
#12488;低減へ
コストダウン=
のために，「産学研=
2301;（産業界・大学・ం=
0;究機関）の協力も進&=
#12417;られている。2009年1月5日に，中硅高మ=
5;多結晶シリコン材料&=
#35069;備技術国家工程試'=
443;室の建設の認証を，=
;国家改革委員会から&#=
12418;らった。この試験ê=
60;は，中国の多結晶シ=
リコン製造工程で課=
8988;となっている大規જ=
9;かつ省エネルギーで&=
#39640;品質の多結晶シリ=
467;ンを製造する技術を=
;研究することを目的&#=
12392;している。中硅高ķ=
85;をはじめとした国内=
の実力ある多結晶シ=
2522;コン企業が協力しᦁ=
2;6つの試験室と1つの測定分析ӟ=
5;ンターを作った。ま&=
#12383;，2月14日に&#=
12399;，南昌大学とLDKが太陽エネル=
462;ー研究センターを設=
;立している。
無錫にある国=
家太陽光発電製品品=
6074;監督検測センターӗ=
9;，5月18日に&#=
20013;山大学と戦略協力×=
12;意書を契約した。双=
方が協力して「検学=
0740;」（検査機関・大ण=
8;・研究機関）の基地&=
#12434;作る予定である。=
013;国の太陽光発電産業=
;の発展に対して，強&#=
21147;な推進力になる。ä=
65;約前4月23日に&#=
12399;，同センターがス|=
52;スの検査機関Societe Generale de Surveillance S.A.（SGS）との太陽光 =
330;電製品の検査測定項=
;目の協力も決めてい&#=
12427;。この協力は，中Þ=
69;の企業に対して「一=
測三書」注15）で，コス=
2488;節約と時間短縮にӗ=
4;り，海外輸出にメリ&=
#12483;トがある。
このような「=
産学研」「検学研」=
2364;，今後の太陽光発༙=
1;コストの低減に寄与&=
#12375;ていく。
図<=
span
lang=3DEN-US>1●米国株式市場=
;に上場し，大きく成&#=
38263;してきた中国の太Ɓ=
25;電池企業
この中で，Suntech, Yingli, JA Solarの3社が，生産量世界Ӡ=
8;ップ10の企業に入っ{=
90;いる。この他にも，=
Siウエハ企業と{=
75;て，LDK Solar Co.,Ltd，Renesolar L=
td.がある。また，英&=
#22269;株式市場に上場し=
383;Jetion Holdings Limitedは，2008年に45.2MWの太陽電池モ&=
#12472;ュールを出荷した=
290;各社の公表資料を元に，著=
;者が作成。
![](3D"2010_5.files/image004.gif")
図2●2012年に&=
#30330;電コスト１人民元/kWhを目指す中国
発電コス&=
#12488;を下げていく上でA=
292;シリコン材料の価格=
;低下が大きな役割を&#=
26524;たす。中国華東地à=
95;の平均太陽光資源で=
計算した結果。洛陽会議で中国化&=
#23398;と物理電源業界協=
250;の秘書長劉彦龍氏が=
;発表した資料を引用&#=
12290;
![](3D"2010_5.files/image006.gif")
図3●地方政府による新=
エネルギーおよび太=
8525;光発電に対する援ࡄ=
1;政策
ӕ=
1;の他にも，陜西省に&=
#12424;る「太陽能光伏と=
322;導体照明産業発展振=
;興規划」が6月19日に&#=
30330;布され，2012年までに=
5つのPV産業区を作りʌ=
92;PV産業の総産出ƅ=
89;2280億元を目指す=
2290;中国国内の情報かӚ=
5;著者が作成。
![](3D"2010_5.files/image008.gif")
Þ=
59;4●中国国内の大=
;規模太陽光発電所の&#=
24314;設計画
ࠣ=
7;札で決まった建設の&=
#20013;核となる企業にはA=
292;多くの場合，電力会=
;社が親会社として付&#=
12356;ている。各電力会Ķ=
38;は太陽光発電所を今=
後の重要な事業とし=
2390;，積極的に投資しӗ=
0;いく姿勢を見せてい&=
#12427;。その他，Suntechを始めとする=
太陽電池製造企業な=
2393;が，国内市場を拡࣪=
3;するために，太陽光&=
#30330;電所を建設する動=
365;も多く見られる。中=
;国国内の情報から著&#=
32773;が作成。
![](3D"2010_5.files/image010.gif")
注1：一体で2010年末完成予定=
2290;100MW拡大予定あり&#=
12290;注2：将来１GW<=
/span>へ拡大する可能性{=
54;り。注3：同一場所にॿ=
4;設。66MWの一部モジュ=
2540;ルをSuntechが提供。注4：将来100MWへ拡大する予定。注
図5χ=
9;金融危機の影響で大きく低下したӟ=
1;リコン価格
2008=
4180;の金融危機によっӗ=
0;，シリコン材料は供&=
#32102;過剰になり，価格=
364;大きく低下した。こ=
;の結果，太陽電池の&#=
35069;造コストも下がりʌ=
92;グリッド・パリティ=
ーを達成する為の低=
2356;発電コストを実現ӕ=
7;る見通しも開けてき&=
#12383;。結果的には，太&=
525;光発電産業が継続的=
;に発展していくため&#=
12395;良い方向であるとŇ=
71;えられている。JL McGregor & Company劉文平=
3;のデーター。
![](3D"2010_5.files/image012.gif")
結晶=
;型太陽電池モジュー&#=
12523;の売値の推移と内š=
79;。縦軸の単位は米<=
/b>$/W
注
注1）{=
00;つまずいてもつまづ=
いても起きあがる」=
2398;意味。
注2）Ó=
61;成金の形で，屋上シ=
ステムかBIPVを作るための=
5588;助。地方政府からߑ=
3;国発展改革委員会へ&=
#30003;請する方法で行う=
290;
注3）ä=
26;陽光発電技術の進歩=
と模範となる導入事=
0363;の促進，および戦=
3;性ある新興産業の育&=
#25104;を目的とする。中=
830;財政が再生可能エネ=
;ルギープロジェクト&#=
36039;金の中から，太陽Ð=
09;発電技術の様々な領=
域での模範的な応用=
2362;よび核心となる技ඡ=
9;の産業化を支援する&=
#12290;
具体的には=
，2～3年内=
2395;財政助成金の形で500MW規模の大型太&#=
38525;光発電所プロジェ|=
63;トを支援する。重点=
的な援助項目は，使=
9992;者側のオングリッӠ=
9;太陽光発電所，独立&=
#22411;太陽光発電所，大=
411;オングリッド太陽光=
;発電所とシリコン材&#=
26009;の高純度化技術，|=
58;ングリッド運行など=
の発電の核心技術の=
9987;業化と関連基礎能ࡂ=
7;の建設である。オン&=
#12464;リッド発電項目に=
550;して，原則的には，=
;太陽光発電システム&#=
21450;び関連送電工程のł=
07;投資額の50％を助成するʌ=
92;遠隔地の無電力地域=
の独立発電所に対し=
2390;は，総投資額の70％を援助するz=
90;
注4）Ë=
41;せて，フィード・イ=
ン・タリフも検討。=
8651;気価格に上乗せすӚ=
7;形で，太陽光発電を&=
#25588;助する。
注5）Shanghai New Energy Conference（第3回国際太陽能ࠠ=
9;伏大会）,2009年5月6日～8日=
5292;中国上海新国際博ස=
9;中心で開催。中国国&=
#20869;では最大級の再生=
487;能エネルギーの展示=
;会とコンファレンス&#=
12290;展示会出展社数は1032社（主催社発=
4920;）で，経済危機下ӗ=
5;もかかわらず，昨年&=
#12398;568社から倍増し=
383;。
注6&=
#65289;2009年3月19，20日に&=
#21271;京で開催。
注7&=
#65289;この結果，米国の=
666;式市場に上場してい=
;る中国太陽電池製造&#=
20225;業の株値も大きくÇ=
78;昇した。
注8&=
#65289;2009年の助成金の=
7161;準額は，原則的に20人民元/Wp=
であるが。具代的に=
2399;，建物との一体化ӗ=
8;度合い，太陽光発電&=
#35069;品の技術先端性な=
393;の要素により，決ま=
;る。以後，毎年助成&#=
37329;の標準額を，産業{=
98;発展状況により調整=
する予定である。
注9）Ş=
36;助金の対象となる項=
目は，以下の条件が=
4517;要になる。（1）一件あたりӗ=
8;導入量が50KWｐ以上。（2）効率の良い太&#=
38525;電池を使うこと。Õ=
36;結晶太陽電池16％以上，多結Ć=
30;14％以上，非結Ć=
30;6％以上であるӕ=
1;と。（3）太陽光モジӣ=
7;ールと建物が「建材&=
#19968;体化」した項目が=
778;先される。（4）グリッド接ಏ=
4;する太陽光発電を搭&=
#36617;する建築物が優先=
373;れる。（5）学校，病院ᦁ=
2;政府機関など建物に&=
#25645;載される太陽光発&=
651;設備が優先される。=
;
注10）3月に&#=
38283;催されたSolarcon China 2009では，地=
041;政府の出展や市長セ=
;ミナー等も多数あっ&#=
12383;。楽山市政府，徐ð=
30;市政府，河南偃師（=
この三つは全部多結=
6230;シリコンが中心でᦁ=
2;太陽光発電業界への&=
#36914;出を検討しているA=
289;，上海南=
汇&=
#24037;業園区（この中に=
399;，薄膜ターンキー装=
;置を製造する企業も&#=
12354;る），武漢東湖国ê=
78;ハイテック開発区，=
呉江市政府である。=
9990;界金融危機の折りᦁ=
2;地方政府が出展する&=
#12371;と自体，各地方政=
220;の太陽光発電業界に=
;かける期待が読める&#=
12290;
注11=
）金融危機に対応し=
5292;国内市場を後押しӕ=
7;るため，各地方に太&=
#38525;光発電協会も設立=
373;れ始めている。江蘇=
;省光伏産業協会（2008年11月設=
;立），浙江省太陽能&#=
26989;界協会設立（同年11月），河北省ä=
26;陽能利用業界協会設=
立（2009年2月）=
，江西省光伏産業協=
0250;設立（同年3月），山東省࣪=
6;陽能業界協会設立（&=
#21516;年4月），などでӓ=
4;る。
注12）&=
750;常にホットな時期と=
;凍るような時期の両&#=
26041;を経験したことをŝ=
20;している。
<= o:p>
&=
#27880;13）North NMC Co.,Ltd.（北方微電子=
公司）のPECVDは，インライ&#=
12531;型で，反射防止用{=
98;SiNx膜を1460mm&ti=
mes;1460mmの領域内に25～30nm/分ӗ=
8;スピードで成膜する&=
#12371;とができる。この =
080;果，125mm角ウエハでは&#=
65292;1500～1800枚/時，156mm角=
;ウエハでは，960～1152枚/時の処理能力ӛ=
4;持つ。
&=
#27880;14）例えば，Kuttler
Automation Systems（Suzhou）
注15）1回の測定で合੬=
4;であれば，SGS発行のIEC/EN認証とアメリカのUL認証，そしてÈ=
13;国のGB認証の報告を|=
18;らえる。
<= o:p>
![3D"4月27日](3D"2010_5.files/image014.jpg")
![](3D"2010_5.files/image016.jpg")
![3D"IMG_2487"](3D"2010_5.files/image018.jpg")
![3D"多效果](3D"2010_5.files/image020.jpg")
![](3D"2010_5.files/image022.jpg")